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iA series는
일체형의 Hybrid Arc 시스템으로 표면조도 개선을 위해 뉴아크소스를
장착하였으며 HCD
및 Sputter까지 가능한 시스템이다. |
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이온화율,
고에너지 증착 및 우수한 박막밀착력
HCD Cleaning ,Sputter coating
및 HCD coating
가능(OPTION)
대차이동방식
풀 자동시스템(database
구축)
자기진단 기능(절연체크 및 진공리크체크)
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Hybrid Arc system : HCD/Arc/Sputter
HCD: 크리닝공정
Arc : 메인 코팅
Sputter: 기능성 코팅 (OPTION)
기타 : HCD 코팅 (OPTION)
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| 분 류 |
타 입 |
내 용 |
| 시스템 |
Auto & manual |
자기진단기능(진공 ,절연) 자동화 및 database저장 |
| HCD
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전자가속 타입
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기존보다 강화된 이온에칭법(100N)
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| Arc
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뉴아크소스
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Ra≤0.06 (모재 Ra=0.03, TiAlN 기준)
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| 펌프
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로타리/부스터
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디퓨젼펌프의 backup 펌프
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디퓨젼펌프
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고진공펌프/메인공정용 사용(OPTION/Cryo pump)
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| 히터
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40KW
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히터용량의 최대화(고온)
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| view port
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Slim type
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넓은 시야확보(OPTION/CC카메라)
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| Power
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Arc,HCD,Bias
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공정안정화
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| One body
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Whole unit
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먼지오염방지 및 고급디자인
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| 진공게이지
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Full range,pirani
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장수명의 게이지사용
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| 프로그램
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Ver. 3.1
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실시간그래프 및 database기능(분석프로그램포함)
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| Hot cooling
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대략 30℃
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결로 방지 및 out gassing 제거
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| 스퍼터(옵션)
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고효율 UBM방식
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타겟효율 40% 이상
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| HCD코팅(옵션)
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HCD 코팅
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하이 파워의 HCD 적용으로 HCD코팅가능
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| 구분 |
i90A |
i120A |
| Chamber size |
900 x 900 x 900H |
1200 x 1200 x 1200H |
| Coating zone |
520H x 600Φ |
760H x 1100Φ |
| Axis |
30Kg / Axes 8 (150Φ) |
30Kg / Axes 12 (150Φ) |
| Source size |
5”Circular x 9 sets |
5”Circular x 12 sets |
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1) 자동차 부품의 CrN coating
2) 장식품의 hard coating
3) 전자부품의 Hard coating
4) 절삭공구 및 금형의 Hard coating
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